一种显微光谱分析成像系统

摘要

本实用新型公开了一种显微光谱分析成像系统，包括图像数据处理器以及分别与所述图像数据处理器连接的光学成像系统和光谱仪系统。本实用新型的有益效果：本实用新型的显微光谱分析成像系统通过将光学显微镜和光谱仪完美的结合在一起，从而使得本系统同时集成了显微镜和光谱仪的功能，进而使得本系统既可观测分析微纳材料表面的形貌结构，又可以同时检测微纳材料表面的光学性能特征，分析其化学成分。

主权项

一种显微光谱分析成像系统，其特征在于，包括图像数据处理器（1）以及分别与所述图像数据处理器（1）连接的光学成像系统和光谱仪系统，所述光学成像系统包括CCD图像传感器（3）以及与所述CCD图像传感器（3）依次相邻适配的CCD适配镜（4）、分光棱镜（6）、半透反镜片一（7）、半透反镜片二（8）和物镜（9），所述分光棱镜（6）一端还相邻适配有目镜（5），所述半透反镜片二（8）的一端还依次相邻适配有照明系统（11）和光源（10）；所述光谱仪系统包括光谱仪装置（2）和通过光纤（13）与所述光谱仪装置（2）连接的透镜（14），所述透镜（14）通过所述光纤（13）还连接有LED光圈（12），所述透镜（14）与所述半透反镜片一（7）适配相邻。