发明名称 激光功率监测组件及应用其的激光发射模块、光放大器
摘要 本发明提供了一种激光功率监测组件及应用其的激光发射模块、光放大器。该激光功率监测组件包括:纳米线光栅,具有一定厚度,其前表面具有光栅结构,激光以入射角α由其背面入射,在光栅结构作用下,部分入射激光由该纳米线光栅厚度方向引出;以及光探测器,其光敏面正对纳米线光栅的厚度方向设置,用于探测由纳米线光栅厚度方向出射激光的功率。本发明通过加入纳米线光栅,将预设比例的入射激光引入偏离入射方向的侧面,由放置于侧面的光探测器来侦测激光功率,由该激光功率可以得出整个入射激光的功率,金属纳米线光栅和光探测器均不会阻挡入射激光,方便了光探测器的布局。
申请公布号 CN103557936B 申请公布日期 2015.10.07
申请号 CN201310529170.4 申请日期 2013.10.31
申请人 中国科学院半导体研究所 发明人 常明超;刘宇;谢亮
分类号 G01J1/42(2006.01)I;H01S5/02(2006.01)I;H01S5/40(2006.01)I 主分类号 G01J1/42(2006.01)I
代理机构 中科专利商标代理有限责任公司 11021 代理人 曹玲柱
主权项 一种激光功率监测组件,其特征在于,包括:纳米线光栅,其厚度介于0.5mm~5mm之间,其前表面具有光栅结构,激光以入射角α由其背面入射,在所述光栅结构作用下,部分入射激光由该纳米线光栅透射,部分入射激光由该纳米线光栅厚度方向引出,其中,所述入射角α介于0°与50°之间;以及光探测器,其光敏面正对所述纳米线光栅的厚度方向设置,用于探测由所述纳米线光栅厚度方向出射激光的功率。
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