发明名称 |
激光功率监测组件及应用其的激光发射模块、光放大器 |
摘要 |
本发明提供了一种激光功率监测组件及应用其的激光发射模块、光放大器。该激光功率监测组件包括:纳米线光栅,具有一定厚度,其前表面具有光栅结构,激光以入射角α由其背面入射,在光栅结构作用下,部分入射激光由该纳米线光栅厚度方向引出;以及光探测器,其光敏面正对纳米线光栅的厚度方向设置,用于探测由纳米线光栅厚度方向出射激光的功率。本发明通过加入纳米线光栅,将预设比例的入射激光引入偏离入射方向的侧面,由放置于侧面的光探测器来侦测激光功率,由该激光功率可以得出整个入射激光的功率,金属纳米线光栅和光探测器均不会阻挡入射激光,方便了光探测器的布局。 |
申请公布号 |
CN103557936B |
申请公布日期 |
2015.10.07 |
申请号 |
CN201310529170.4 |
申请日期 |
2013.10.31 |
申请人 |
中国科学院半导体研究所 |
发明人 |
常明超;刘宇;谢亮 |
分类号 |
G01J1/42(2006.01)I;H01S5/02(2006.01)I;H01S5/40(2006.01)I |
主分类号 |
G01J1/42(2006.01)I |
代理机构 |
中科专利商标代理有限责任公司 11021 |
代理人 |
曹玲柱 |
主权项 |
一种激光功率监测组件,其特征在于,包括:纳米线光栅,其厚度介于0.5mm~5mm之间,其前表面具有光栅结构,激光以入射角α由其背面入射,在所述光栅结构作用下,部分入射激光由该纳米线光栅透射,部分入射激光由该纳米线光栅厚度方向引出,其中,所述入射角α介于0°与50°之间;以及光探测器,其光敏面正对所述纳米线光栅的厚度方向设置,用于探测由所述纳米线光栅厚度方向出射激光的功率。 |
地址 |
100083 北京市海淀区清华东路甲35号 |