微小构件摩擦力测试装置

摘要

本发明涉及一种微小构件摩擦力测试装置,包括法向载荷加载装置，水平工作台、传感器和传感系统信号处理器，传感器组成阵列均匀布置在水平工作台上，法向载荷加载装置向水平工作台上的被测样品施加法向作用力，水平工作台作直线运动，传感器采集法向作用力和水平摩擦力信号并传送给传感系统信号处理器，传感器包括X方向电容单元组和Y方向电容单元组，X方向电容单元组和Y方向电容单元组均包括电容单元模块，电容单元模块是由两个以上的条状电容单元组成的梳齿状结构，本发明的微机械系统构件的微小摩擦力测试装置，可以准确获取两种不同介质之间的摩擦力，满足微机械设计过程中，对零构件零摩擦或者具有稳定数值的摩擦力的要求。

主权项

一种微小构件摩擦力测试装置，其特征在于，包括法向载荷加载装置，水平工作台、传感器和传感系统信号处理器，传感器组成阵列均匀布置在水平工作台上，法向载荷加载装置向水平工作台上的被测样品施加法向作用力，水平工作台作直线运动，传感器采集法向作用力和水平摩擦力信号并传送给传感系统信号处理器，所述传感器包括X方向电容单元组和Y方向电容单元组，所述X方向电容单元组和Y方向电容单元组均包括电容单元模块，所述电容单元模块是由两个以上的条状电容单元组成的梳齿状结构，每个条状电容单元包括上极板的驱动电极和下极板的感应电极，所述电容单元模块包括由两个以上宽度a₀长度b₀的条状电容单元组成的第一条状电容单元组和两个以上宽度ka₀长度b₀的条状电容单元组成的第二条状电容单元组。