一种石英坩埚及其制备方法

摘要

本发明提供了一种石英坩埚及其制备方法，该石英坩埚包括：石英坩埚本体、依次涂覆在石英坩埚本体内壁的碳化硅涂层与氮化硅涂层；所述碳化硅涂层包括碳化硅与二氧化硅；所述氮化硅涂层包括氮化硅与二氧化硅。与现有技术相比，本发明先在石英坩埚本体内壁涂覆一层碳化硅涂层，碳化硅在热导率、膨胀系数、密度、高温耐压强度等方面与氮化硅涂层接近，与石英坩埚本体结合力较强，并且其可在坩埚内壁形成致密的保护层；同时在碳化硅涂层上涂覆一层氮化硅涂层，使得石英坩埚既可有效阻止坩埚杂质对硅锭的污染，又具有良好的脱模作用。

主权项

一种石英坩埚，其特征在于，包括：石英坩埚本体、依次涂覆在石英坩埚本体内壁的碳化硅涂层与氮化硅涂层；所述碳化硅涂层包括碳化硅与二氧化硅；所述氮化硅涂层包括氮化硅与二氧化硅。