用于光配向的光罩及光配向方法

摘要

本发明提供一种用于光配向的光罩及光配向方法。该用于光配向的光罩包括光罩本体(2)、设于光罩本体(2)上的多个透光图案，多个透光图案沿第一方向(DY)逐行排列；多个透光图案均沿垂直于第一方向(DY)的第二方向(DX)设置，每一透光图案均包括使用时与相邻光罩不重叠的非重叠区域、及分别位于所述非重叠区域左、右两侧的使用时与相邻光罩重叠的重叠区域；所述第一方向(DY)为使用光罩进行曝光、配向时，光罩的平移前进方向；位于所述重叠区域内的透光图案朝向第一方向(DY)的一端与位于所述非重叠区域内的透光图案朝向第一方向(DY)的一端对齐，能够改善配向效果，避免MMG产品在配向时由于存在未曝光或者曝光不足的区域而导致的mura问题。

主权项

一种用于光配向的光罩，其特征在于，包括光罩本体(2)、设于所述光罩本体(2)上的多个透光图案，所述多个透光图案沿第一方向(DY)逐行排列；所述多个透光图案均沿垂直于第一方向(DY)的第二方向(DX)设置，每一透光图案均包括使用时与相邻光罩不重叠的非重叠区域、及分别位于所述非重叠区域左、右两侧的使用时与相邻光罩重叠的重叠区域；所述第一方向(DY)为使用光罩进行曝光、配向时，光罩的平移前进方向；每一透光图案关于其在第一方向(DY)上的中线对称；位于所述非重叠区域内的透光图案在第一方向(DY)上的长度均相等，位于所述重叠区域内的透光图案在第一方向(DY)上的长度由靠近非重叠区域一侧向远离非重叠区域一侧线性递减，且位于所述重叠区域内的透光图案朝向第一方向(DY)的一端与位于所述非重叠区域内的透光图案朝向第一方向(DY)的一端对齐。