一种透明导电薄膜光学常数及厚度的测量方法

摘要

本发明公开了一种透明导电薄膜光学常数及厚度的测量方法，包括以下步骤：测量透明导电薄膜样品的透射光谱及膜面反射光谱；建立包含德鲁得振子和洛伦兹振子的复合振子模型，并对该模型的参数及膜层厚度进行初始设置；进行遗传算法最佳值搜索，得模型参数及膜层厚度的最佳值，该膜层厚度的最佳值即薄膜样品的厚度；根据模型参数的最佳值生成最佳复合振子模型，并依次通过振子-介电常数转换、介电常数-光学常数转换得最佳光学常数，即薄膜样品的光学常数。该方法能够简单、快速、准确的获得透明导电薄膜光、电性能数据，降低了生产成本。

主权项

一种透明导电薄膜光学常数及厚度的测量方法，其特征在于，包括以下步骤：(1)测量透明导电薄膜样品的透射光谱及膜面反射光谱，得到实测透射光谱T_C(λ)和实测膜面反射光谱Rf_C(λ)；(2)建立包含德鲁得振子和洛伦兹振子的复合振子模型，并对该复合振子模型的参数及薄膜样品的膜层厚度进行初始设置；(3)以复合振子模型的参数及膜层厚度的初始设置为搜索起点，以实测透射光谱T_C(λ)和实测膜面反射光谱Rf_C(λ)为搜索依据，进行遗传算法最佳值搜索，得到复合振子模型参数的最佳值及膜层厚度的最佳值，该膜层厚度的最佳值即为所述透明导电薄膜样品的厚度；(4)根据复合振子模型参数的最佳值利用复合振子模型生成最佳复合振子模型，根据该最佳复合振子模型得到载流子浓度及迁移速率微观电学性能；(5)将最佳复合振子模型通过振子‑介电常数转换得到最佳介电常数；(6)将最佳的介电常数通过介电常数‑光学常数转换得到最佳光学常数，即为所述透明导电薄膜样品的光学常数。