发明名称 |
一种连续化生产超纯氨水的方法 |
摘要 |
本发明涉及一种连续化超纯氨水的生产方法,首先将工业级液氨进行两次加热蒸发,冷却后通过超纯水清洗和超纯水吸收,最后微孔膜过滤,制得的超纯氨水主体含量为28%~30%,单一金属离子含量小于100ppt,大于0.5μm的颗粒含量小于25个/毫升。本发明操作简单,能耗低,产品纯度高且质量稳定,可以实现连续化大规模生产。 |
申请公布号 |
CN102452671B |
申请公布日期 |
2015.10.07 |
申请号 |
CN201010523016.2 |
申请日期 |
2010.10.28 |
申请人 |
联仕(上海)电子化学材料有限公司;上海华谊(集团)公司 |
发明人 |
詹家荣;周励 |
分类号 |
C01C1/02(2006.01)I |
主分类号 |
C01C1/02(2006.01)I |
代理机构 |
上海新天专利代理有限公司 31213 |
代理人 |
王敏杰 |
主权项 |
一种连续化生产超纯氨水的方法,其特征在于,步骤如下:步骤1,将99%纯度的工业级液氨输送至加热塔,在30~40℃温度下加热蒸发;冷却后,在40~50℃温度下进行第二次加热蒸发,然后冷却;步骤2,将第二次冷却后的氨气输送至盛装有超纯水的清洗塔,氨水达到饱和后继续输送氨气,通过超纯水清洗后的氨气从清洗塔超纯水中释放出来;步骤3,用超纯水吸收清洗塔中释放出的氨气得到氨水;步骤4,用微孔膜将步骤3中所得氨水进行过滤,收集滤液得到超纯氨水,所述微孔膜由全氟材料制备。 |
地址 |
上海市宝山区铁力路3号 |