一种霍尔检测方式的磁性液体微压传感器

摘要

一种霍尔检测方式的磁性液体微压传感器，属于机械工程测量领域。成功解决了现有磁性液体微压传感器无法在工程实际中得到应用得问题。该装置包括平衡腔(1)、壳体(2)、第一永磁体(3)、保持架(4)、霍尔元件(5)、霍尔元件安装架(6)、第二永磁体(7)、磁性液体(8)、压力调节阀(9)，当外界存在压差时，移动部件在壳体内移动，则改变了垂直穿过霍尔元件的磁力线的磁通密度，进而检测出输出电压信号，该压力传感器在1000Pa以下的压力范围内，压力差的大小和输出的电压值成线性关系。

主权项

一种霍尔检测方式的磁性液体微压传感器，其特征在于：包括压力平衡腔(1)、壳体(2)、第一永磁体(3)、保持架(4)、霍尔元件(5)、霍尔元件安装架(6)、第二永磁体(7)、磁性液体(8)、压力调节阀(9)；将第一永磁体(3)安装在保持架(4)的左端面，将第二永磁体(7)安装在保持架(4)的右端面，继将磁性液体(8)注射在第一永磁体(3)和第二永磁体(7)上，形成移动部件；将霍尔元件(5)装入霍尔元件安装架(6)中，形成检测组件；所述壳体(2)中部加工有一通孔，先将移动部件装入壳体(2)中，再将检测组件装入壳体(2)的通孔中，形成壳体组件；霍尔元件安装架(6)和壳体(2)之间为固定连接，接触面安装有密封圈进行密封；所述压力平衡腔(1)的左端面安装有压力调节阀(9)，右端面加工有通孔，将壳体组件装入压力平衡腔(1)的右端面通孔中，使得壳体(2)的中部法兰面与压力平衡腔(1)的右端面固定连接，接触面安装有密封圈进行密封，压力调节阀(9)和压力平衡腔(1)均选用非导磁性材料；所述壳体(2)为非导磁性材料，壳体(2)中部上表面的通孔形状和尺寸与霍尔元件安装架(6)的凸台的形状和尺寸相同，法兰面位于通孔左侧，壳体(2)的左端面距离法兰面的长度小于压力平衡腔(1)的长度。