表面声波谐振器、表面声波振荡器以及电子设备

摘要

本发明提供能够实现良好的频率温度特性的表面声波谐振器。用于解决上述课题的SAW谐振器利用了欧拉角为(117°≤θ≤142°，42.79°≤|ψ|≤49.57°)的石英基板(30)，具有激励出阻带上端模式的SAW的IDT(12)；以及使位于构成IDT(12)的电极指(18)之间的基板凹陷而形成的槽(32)，其中，在设SAW的波长为λ、槽(32)的深度为G时，满足0.01λ≤G，在设IDT(12)的线占有率为η时，槽(32)的深度G与所述线占有率η满足以下关系：-2.0000×G/λ+0.7200≤η≤-2.5000×G/λ+0.7775，其中0.0100λ≤G≤0.0500λ；以及-3.5898×G/λ+0.7995≤η≤-2.5000×G/λ+0.7775，其中0.0500λ＜G≤0.0695λ。

主权项

一种表面声波谐振器，其具有：叉指换能器，其设置在欧拉角为－117°≦θ≦142°，42.79°≦|ψ|≦49.57°的石英基板上，激励出阻带上端模式的表面声波；以及电极指间槽，其是使位于构成所述叉指换能器的电极指之间的所述石英基板相比设置有所述叉指换能器的所述石英基板的表面凹陷而形成的，该表面声波谐振器的特征在于，在设所述表面声波的波长为λ、所述电极指间槽的深度为G的情况下，满足下式：0.01λ≦G并且，在设所述叉指换能器的线占有率为η的情况下，所述电极指间槽的深度G与所述线占有率η满足下式的关系：‑2.0000×G/λ+0.7200≦η≦‑2.5000×G/λ+0.7775其中0.0100λ≦G≦0.0500λ‑3.5898×G/λ+0.7995≦η≦‑2.5000×G/λ+0.7775其中0.0500λ<G≦0.0695λ。