一种单晶炉加料装置

摘要

本实用新型涉及与单晶炉匹配使用的附件，特别涉及一种单晶炉用多次加料装置。该单晶炉加料装置包括两端开口的石英筒体，在石英筒体的外表面套设不锈钢筒，在石英筒体内腔径向的中间设有拉杆，在拉杆下端连接石英锥头，石英锥头的下部伸出石英筒体的下端口；拉杆向上伸出石英筒体的上端口，在拉杆顶部设有与单晶炉副室中的籽晶重锤连接部结构相匹配的连接部；在石英筒体上端口内侧通过连接杆固连限位轴，在限位轴轴孔上设有若干大间隙孔洞；限位轴孔位于石英筒体横截面的圆心位置；在不锈钢筒的上端口端面外侧固设固定环。该单晶炉加料装置能在高温加热状态下多次加料，增加最大投料量，保证单晶硅棒产品品质，提高工作效率；避免安全事故。

主权项

一种单晶炉加料装置，其特征是：包括一两端开口的石英筒体，在石英筒体的外表面套设一不锈钢筒，在石英筒体内腔径向的中间设有一拉杆，在拉杆下端连接一石英锥头，石英锥头的下部伸出石英筒体的下端口；所述拉杆向上伸出石英筒体的上端口，在拉杆的顶部设有一与单晶炉副室中的籽晶重锤连接部结构相匹配的连接部；在石英筒体上端口的内侧通过连接杆固连一限位轴，在限位轴的轴孔上设有若干大间隙孔洞；所述限位轴孔位于石英筒体横截面的圆心位置；在不锈钢筒的上端口端面外侧固设一固定环。