发明名称 高温高压差传感器的芯体
摘要 本发明公开了高温高压差传感器的芯体,包括底座(1)、压环(2)、感压膜片(3)及敏感芯片(4),其中,压环(2)连接在底座(1)上,感压膜片(3)周边密封固定于底座(1)与压环(2)之间,且感压膜片(3)与底座(1)之间构成有容置有硅油的硅油腔。敏感芯片(4)设于硅油腔内且与底座(1)固定连接,敏感芯片(4)连接有穿过底座(1)的引线(10),底座(1)构成有接通硅油腔与外界的注油通道(5)。本发明采用上述结构,整体结构简单,便于实现,成本低,进而使得本发明应用时便于推广应用。
申请公布号 CN104964784A 申请公布日期 2015.10.07
申请号 CN201510400234.X 申请日期 2015.07.10
申请人 四川奇胜科技有限公司 发明人 郭健
分类号 G01L7/08(2006.01)I;G01L19/00(2006.01)I 主分类号 G01L7/08(2006.01)I
代理机构 代理人
主权项 高温高压差传感器的芯体,其特征在于,包括底座(1)、压环(2)、感压膜片(3)及敏感芯片(4),所述压环(2)连接在底座(1)上,感压膜片(3)周边密封固定于底座(1)与压环(2)之间,且感压膜片(3)与底座(1)之间构成有容置有硅油的硅油腔;所述敏感芯片(4)设于硅油腔内且与底座(1)固定连接,敏感芯片(4)连接有穿过底座(1)的引线(10),所述底座(1)构成有接通硅油腔与外界的注油通道(5)。
地址 610000 四川省成都市高新区天府三街69号1栋10层1013号