| 发明名称 | 稀释剂组合物及其用途 | ||
| 摘要 | 本发明涉及一种稀释剂组合物及其用途。本发明的稀释剂组合物对各种光阻剂都具有优异的溶解力，且具有最适当的挥发性，因此能够在短时间内于边缘球状物移除工艺或类似工艺中有效地去除不必要附着的光阻剂，并且可应用于半导体基板的预润湿工艺，用少量的光阻剂也能够有效地形成感光膜。 | ||
| 申请公布号 | CN104969129A | 申请公布日期 | 2015.10.07 |
| 申请号 | CN201480007310.4 | 申请日期 | 2014.01.24 |
| 申请人 | 东进世美肯株式会社 | 发明人 | 权五焕;尹锡壹;郑宗铉;金炳郁;赵泰杓;辛成健 |
| 分类号 | G03F7/42(2006.01)I;G03F7/32(2006.01)I;H01L21/027(2006.01)I;G03F7/09(2006.01)I | 主分类号 | G03F7/42(2006.01)I |
| 代理机构 | 北京冠和权律师事务所 11399 | 代理人 | 朱健;陈国军 |
| 主权项 | 一种稀释剂组合物，包含有：1‑甲氧基‑2‑丙醇醋酸酯；以及乙二醇丙基醚。 | ||
| 地址 | 韩国仁川市西区白凡路644 | ||