用于承载Foup的装载端口及设备前端装置

摘要

本实用新型提供了一种用于承载Foup的装载端口及设备前端装置，所述用于承载Foup的装载端口包括装载端口主体以及设置于装载端口主体中并与Foup连通的氮气管道，以通过氮气管道将氮气输送至Foup的内部，使得Foup内的晶圆可以沉浸在氮气环境中，从而避免了晶圆表面自然氧化问题，提升了产品良率，同时也使得Foup内晶圆的等待时间可以增加，从而降低了生产线排货难度以及跑货压力。此外，所述装载端口主体包括竖直部分以及与竖直部分连接并用于承载Foup的水平部分，这两部分一体成型且为中空结构，使得氮气管道可以穿过竖直部分和水平部分与Foup连通，不占用生产车间空间，易于实施。

主权项

一种用于承载Foup的装载端口，其特征在于，包括用于承载Foup的装载端口主体以及设置于所述装载端口主体中并与所述Foup连通的氮气管道，通过所述氮气管道将氮气输送至所述Foup的内部。