| 摘要 |
<p>본 발명은 하전 입자들의 복수의 빔렛의 편향을 위한 정전 편향기를 포함하는 하전 입자 광학 시스템에 관한 것으로, 상기 정전 편향기는 제 1 및 제 2 전극을 포함하고, 상기 전극들은 적어도 부분적으로 자립(freestanding)하고, 상기 편향기는 상기 전극들 사이에 전기장의 작용에 의해 상기 복수의 빔렛을 편향시키며, 상기 전극들 사이에는 상기 복수의 빔렛이 통과하고, 상기 복수의 빔렛은 통과 윈도우(passing window)을 형성하고, 상기 통과 윈도우는 제 1 방향으로 연장되어 있으며, 여기서 상기 복수의 빔렛은 상기 제 1 방향으로 연장되어 있는 단일 열로 배열되어 있고, 상기 제 1 방향에 횡단하는 방향에 있는 상기 통과 윈도우의 크기는 상기 빔렛의 직경와 매치되며 상기 정전 편향기의 실제 부분은 상기 제 1 방향의 상기 통과 윈도우를 넘어 연장되어 있다.</p> |
