| 摘要 |
<p>고전압 및 고전류를 사용하는 전기적 특성 검사에 의해 탑 플레이트(탑재체)가 변색되어도, 탑재대의 탑재체만을 교환하고 다른 구성부품을 교환할 필요가 없어서, 교환 비용을 절감할 수 있는 탑재체를 제공한다. 본 발명의 탑재대(20)는, 타이코 웨이퍼(W)의 전기적 특성 검사를 실행하기 위해, 타이코 웨이퍼(W)를 그의 환상 돌기를 하측으로 하여 탑재하는 탑재대로서, 타이코 웨이퍼(W)의 탑재면을 갖는 탑재체(21)와, 탑재체(21)가 고정된 절연체(22)를 구비하며, 탑재체(21)는 타이코 웨이퍼(W)의 환상 돌기와 끼워 맞춤되는 동시에 타이코 웨이퍼(W)의 하면과 접촉하도록 형성된 탑재부(21A)와, 탑재부(21A)의 외측에 형성되는 동시에 환상 돌기와 접촉하는 환상 평면부(21B)를 가지며, 탑재체(21)가 환상 평면부(21B) 측으로부터 장착된 나사 부재(23)에 의해 절연체(22)에 탈착 가능하게 연결 및 고정되어 있다.</p> |
