发明名称 Composition for photoresist stripper
摘要 <p>본 발명은 포토레지스트 박리액 조성물에 관한 것으로, 보다 상세하게는 알킬렌글리콜 t-부틸 에테르계 화합물을 2종 이상 포함하여, 포토레지스트의 제거속도가 매우 뛰어나고 절연체 손상을 최소화 할 수 있는 포토레지스트 박리액 조성물에 관한 것이다.</p>
申请公布号 KR101557778(B1) 申请公布日期 2015.10.06
申请号 KR20140024119 申请日期 2014.02.28
申请人 发明人
分类号 G03F7/42;H01L21/027 主分类号 G03F7/42
代理机构 代理人
主权项
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