| 发明名称 |
PEELING METHOD, PROGRAM, COMPUTER STORAGE MEDIUM, PEELING DEVICE AND PEELING SYSTEM |
| 摘要 |
<p>【課題】被処理基板と支持基板の剥離処理を効率よく行う。【解決手段】第２の保持部の複数の吸着移動部によって、重合基板の一端側から他端側に向けて支持基板を被処理基板から剥離する（ステップＡ２１３）。その後、検査部が第１基板の全体を撮像することにより、第１保持部における被処理基板の有無を検査する（ステップＡ２１５）。その後、回転機構によって第１保持部を回転させながら、検査部が被処理基板の外周部を撮像することにより、被処理基板の外周部の状態を検査する（ステップＡ２１６）。【選択図】図１０</p> |
| 申请公布号 |
JP2015176922(A) |
申请公布日期 |
2015.10.05 |
| 申请号 |
JP20140050766 |
申请日期 |
2014.03.13 |
| 申请人 |
TOKYO ELECTRON LTD |
发明人 |
ITO MASANORI;HARADA JIRO;SAKAMOTO RYOICHI |
| 分类号 |
H01L21/683;H01L21/02;H01L21/304 |
主分类号 |
H01L21/683 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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