METHOD OF FORMING REFLECTION ENHANCING FILM AND REFLECTION ENHANCING FILM FORMED THEREBY

摘要

【課題】基材の形状が凹型であっても、均一な反射率を生じさせる。【解決手段】増反射膜１２の形成方法は、凹型形状を有する基材１１上に金属からなる第一層１３を成膜し、第一層１３の上に低屈折率物質から成る第二層１４及び高屈折率物質から成る第三層１５を順に成膜してなる。第一層１３をドライコーティング法によって成膜し、第二層１４及び第三層１５をウェットコーティング法によって成膜する。具体的には、真空蒸着法によりアルミニウム又は銀から成る第一層１３を基材１１上に成膜し、ＳｉＯ２又はＭｇＦ２の原料物質を含む塗布液に第一層が形成された基材を浸漬し引き上げた後に大気圧中で加熱して焼成または乾燥させることにより第一層１３の上に第二層１４を成膜し、ＴｉＯ２又はＮｂ２Ｏ５の原料物質を含む塗布液に第二層が形成された基材１１を浸漬し引き上げた後に大気圧中で加熱して焼成または乾燥させて第二層の上に第三層１５を成膜する。【選択図】 図１