THIN FILM DEPOSITION APPARATUS

摘要

【課題】搬送ロールに飛翔粒子のような薄膜材料が堆積されることを確実に防止することによって、幅の異なるフィルム基材に薄膜を形成する場合であってもフィルム基材にキズが生じることを確実に防止することができる薄膜形成装置を提供する。【解決手段】本発明の薄膜形成装置は、その中心軸周りに回転可能に設けられており、その外周面に巻回されるフィルム基材を前記中心軸周りに回転することによって搬送する搬送ロールと、前記搬送ロールに巻回された状態の前記フィルム基材に向けて薄膜を形成するための薄膜材料を供給する薄膜材料供給装置と、前記搬送ロールの外周面のうち、軸方向に見て、前記フィルム基材が巻回される巻回領域の両側各々に隣接する各領域に、取り外し可能に固定されたマスク部材と、を備える。【選択図】図２