| 摘要 |
본 발명의 실시 형태는 X선 두께계에 관한 것으로, X선의 조사선량 드리프트에 따른 두께 측정 오차의 보정 방법에 관한 것이다. 본 발명은, 두께 교정이 완료된 X선 두께계의 조사선량의 온도 드리프트에 따른 측정 오차를, 간이한 구성으로, 측정중이어도 보정이 가능한 X선 두께계를 제공하는 것을 목적으로 한다. X선관(1a)을 냉각 매체로 냉각하는 냉각부(1b)와, 당해 X선관에 인가하는 전원을 공급하는 전원부(1c)를 구비하는 X선 발생기(1)와, 피측정물(4)을 투과한 검출 조사선량을 검출하는 검출기(5)와, 두께 기준편을 구비하는 교정 장치(2)와, 교정 테이블을 참조하여 피측정물의 두께를 구하는 연산부(6)를 구비하는 X선 두께계(100)로서, 상기 냉각 매체의 온도를 측정하는 온도 센서(7)를 구비하고, 연산부는 교정시의 냉각 매체의 온도와, 측정중인 냉각 매체의 온도의 온도 차에 대응하는 검출 조사선량을 구하는 온도 보정 테이블을 미리 구비하고, 온도 보정 테이블을 참조하여 검출 조사선량을 구하고, 또한 교정 테이블을 참조하여 두께를 구하는 X선 두께계. |
