发明名称 FEUTRE DE POLISSAGE MECANO-CHIMIQUE AVEC COUCHE DE POLISSAGE ET FENETRE
摘要 Il est fourni un feutre de polissage mécano-chimique (10) présentant une couche de polissage (20) ; et une fenêtre de détection de point limite (30) incorporée dans le feutre de polissage mécano-chimique, dans lequel la fenêtre de détection de point limite est une fenêtre bouchon-en-place ; dans lequel la fenêtre de détection de point limite comprend un produit de réaction d'ingrédients, comprenant : un prépolymère de fenêtre, et, un système de durcisseur de fenêtre, comprenant : au moins 5 % en poids d'un durcisseur de fenêtre difonctionnel ; au moins 5 % en poids d'un durcisseur de fenêtre de polyol initié par une amine ; et, de 25 à 90 % en poids d'un durcisseur de fenêtre de polyol de masse molécule élevée.
申请公布号 FR3019076(A1) 申请公布日期 2015.10.02
申请号 FR20150052550 申请日期 2015.03.26
申请人 ROHM AND HAAS ELECTRONIC MATERIALS CMP HOLDINGS, INC.;DOW GLOBAL TECHNOLOGIES LLC 发明人 QIAN BAINIAN;DEGROOT MARTY W.;MURNANE JAMES;REPPER ANGUS;JENSEN MICHELLE;HENDRON JEFFREY J.;NOWLAND JOHN G.;JAMES DAVID B.;YEH FENGJI
分类号 B24B29/02;B24D3/00 主分类号 B24B29/02
代理机构 代理人
主权项
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