Gas injector and apparatus for manufacturing thin film therewith

摘要

본 발명은 박막 제조를 위한 가스 분사시 회전하는 구동축과 이를 감싸는 하우징 사이의 마그네틱 시일이 열에 의해 변질되는 것을 방지하고, 손상 여부를 감지할 수 있는 가스 분사 장치 및 이를 구비하는 박막 제조 장치에 관한 것이다.