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<p>설계 데이터 공간에서 검사 시스템의 출력의 위치를 결정하기 위한 시스템 및 방법이 제공된다. 하나의 방법은, 웨이퍼에 대한 설계 데이터 내의 하나보다 많은 특징부를, 합병되는 모든 특징부들을 둘러싸는 둘레를 갖는 단일 특징부로 합병하는 단계를 포함한다. 방법은 또한, 합병되는 특징부들에 대한 설계 데이터 없이 단일 특징부에 대한 정보를 저장하는 단계를 포함한다. 정보는 설계 데이터 공간에서의 단일 특징부의 위치를 포함한다. 방법은, 웨이퍼에 대한 검사 시스템의 출력을 단일 특징부에 대한 정보로 정렬하는 단계를 더 포함하며, 그리하여 단일 특징부의 설계 데이터 공간 위치에 기초하여, 설계 데이터 공간에서의 출력의 위치가 결정될 수 있다.</p> |
