| 摘要 |
본 발명은 알루미늄 질화물 단결정 기판을 포함하는 자외선을 방출하도록 적용된 광전자 소자를 제공하며, 상기 기판의 전위 밀도는 약 10㎝이하이고, (002) 및 (102) 결정면들에 대한 이축 요동 곡선의 반치전폭(FWHM)은 약 200arcsec 이하이며, 상기 알루미늄 질화물 단결정 기판 위에 놓인 자외선 발광 다이오드 구조를 포함하고, 상기 다이오드 구조는 n-형 반도체층에 전기적으로 연결되는 제1 전극 및 p-형 반도체층에 전기적으로 연결되는 제2 전극을 포함한다. 특정한 실시예들에 있어서, 본 발명의 광전자 소자들은 -10V에서 약 10A/㎠이하의 역방향 누설 전류 및/또는 28A/㎠의 주입 전류 밀도에서 적어도 약 5,000시간의 L80을 나타낸다. |
