发明名称 处理器装置、处理器装置的调整方法及试验装置
摘要 本发明的问题在于提供一种处理器装置,其调整致动器的位置,并提高被试验器件的位置精确度。为了解决上述问题,提供一种处理器装置及处理器装置的调整方法,该处理器装置将被试验器件搬送至试验用插座,该处理器装置具备:致动器,其在将用以保持被试验器件之器件保持器嵌合于试验用插座之前,嵌合于器件保持器,以调整被试验器件在器件保持器上的位置;及,致动器调整部,其使致动器嵌合于致动器嵌合单元并调整致动器的驱动量。
申请公布号 TW201537188 申请公布日期 2015.10.01
申请号 TW103132486 申请日期 2014.09.19
申请人 爱德万测试股份有限公司 ADVANTEST CORPORATION 发明人 山下毅 YAMASHITA, TSUYOSHI;相泽光范 AIZAWA, MITSUNORI;堀野浩光 HORINO, HIROMITSU;山田佑也 YAMADA, YUYA;小野泽正贵 ONOZAWA, MASATAKA
分类号 G01R31/26(2014.01) 主分类号 G01R31/26(2014.01)
代理机构 代理人 蔡坤财李世章
主权项
地址 日本 JP