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发明名称
处理器装置、处理器装置的调整方法及试验装置
摘要
本发明的问题在于提供一种处理器装置,其调整致动器的位置,并提高被试验器件的位置精确度。为了解决上述问题,提供一种处理器装置及处理器装置的调整方法,该处理器装置将被试验器件搬送至试验用插座,该处理器装置具备:致动器,其在将用以保持被试验器件之器件保持器嵌合于试验用插座之前,嵌合于器件保持器,以调整被试验器件在器件保持器上的位置;及,致动器调整部,其使致动器嵌合于致动器嵌合单元并调整致动器的驱动量。
申请公布号
TW201537188
申请公布日期
2015.10.01
申请号
TW103132486
申请日期
2014.09.19
申请人
爱德万测试股份有限公司 ADVANTEST CORPORATION
发明人
山下毅 YAMASHITA, TSUYOSHI;相泽光范 AIZAWA, MITSUNORI;堀野浩光 HORINO, HIROMITSU;山田佑也 YAMADA, YUYA;小野泽正贵 ONOZAWA, MASATAKA
分类号
G01R31/26(2014.01)
主分类号
G01R31/26(2014.01)
代理机构
代理人
蔡坤财李世章
主权项
地址
日本 JP
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