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一种表面处理湿制程中硝酸的循环利用方法，系用以分离表面处理湿制程中处理液所包含的水、硝酸、硫酸以及金属杂质，并循环利用该硝酸，该表面处理湿制程中硝酸的循环利用方法包括：收集处理，将该处理液收集于一收集储存槽中，以形成储存液；过滤处理，接收该储存液，并利用奈米级过滤膜以过滤该分离储存液中任何的硝酸盐或硫酸盐而形成的穿透过该奈米级过滤膜的过滤液以及未穿透过该奈米级过滤膜的浓缩液，其中该过滤液不含硝酸盐或硫酸盐，且该过滤液被回送至该收集储存槽，而该浓缩液含有硝酸盐或硫酸盐；蒸馏处理，利用一蒸馏器在加热至一蒸馏温度下将该浓缩液中较低沸点的硝酸及部分的水形成硝酸混合蒸气，并留下由该金属杂质及较高沸点的硫酸所形成的高沸点溶液，其中该蒸馏温度为115℃至125℃之间；冷凝处理，将该硝酸混合蒸气冷却而形成硝酸溶液，并将该硝酸溶液回送至该收集储存槽；以及电沉积处理，利用电力将该高沸点溶液中的金属杂质还原成固态金属而析出，并留下硫酸溶液，且留下的该硫酸溶液进一步回送至该蒸馏器；其中，该表面处理湿制程中硝酸的循环利用方法利用该收集处理、该过滤处理、该蒸馏处理、该冷凝处理以及该电沉积处理而形成一封闭循环。
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