用于等离子体蚀刻的电极元件及其制造方法

摘要

一种用于等离子体蚀刻的电极元件及其制造方法，采用一安装层和一弹性连接层构成一连接层，置于一电极和一支撑部件之间，设置所述安装层的材料与所述电极和所述支撑部件之一的材质相同，并将所述安装层和与其材质相同的结合面机械连接，将弹性连接层与未与所述安装层连接的一结合面连接固定，实现支撑部件和所述电极的可拆卸连接。所述弹性连接层可以增大电极和支撑部件之间的有效接触面积，从而降低电极和支撑部件间的接触热阻，另外，还可以允许所述电极和所述支撑部件之间由于热膨胀而导致的相对运动，从而避免电极和支撑部件之间由于两者的热膨胀系数差而导致电极的弯曲或开裂的问题，延长了电极使用寿命。