发明名称 净化用装置及包含净化用气体之气体扩散的方法
摘要 本发明的净化用装置(1)具有藉框体(3)所区划的内部空间(1A),将储放有配置在内部空间之被储放物的储放容器(F)的内部以净化用气体进行净化处理的净化用装置,具备配置在框体的外部,并从框体的开口部(30)朝着内部空间之包含净化用气体的气体漏出的区域进行空气送风,藉以使得从开口部漏出的包含净化用气体的气体扩散的送风部(59)。
申请公布号 TW201537658 申请公布日期 2015.10.01
申请号 TW104101965 申请日期 2015.01.21
申请人 村田机械股份有限公司 MURATA MACHINERY, LTD. 发明人 村田正直 MURATA, MASANAO;徳本光哉 TOKUMOTO, MITSUYA;山路孝 YAMAJI, TAKASHI
分类号 H01L21/67(2006.01) 主分类号 H01L21/67(2006.01)
代理机构 代理人 林志刚
主权项
地址 日本 JP