| 发明名称 |
抑制氮化钛腐蚀之组成物及方法 |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
TWI502065 |
申请公布日期 |
2015.10.01 |
| 申请号 |
TW100137099 |
申请日期 |
2011.10.13 |
| 申请人 |
安堤格里斯公司;国际商业机器公司 |
发明人 |
库帕 艾曼纽Ｉ;托堤尔 乔治 盖伯雷尔;佩恩 马可南 |
| 分类号 |
C11D7/10;C11D7/18;C11D7/32;H01L21/304 |
主分类号 |
C11D7/10 |
| 代理机构 |
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代理人 |
赖经臣 台北市松山区南京东路3段346号11楼;宿希成 台北市松山区南京东路3段346号11楼 |
| 主权项 |
一种清洁组成物，其中，该清洁组成物包含至少一种胺、至少一种氧化剂、水、及至少一种硼酸盐物种。 |
| 地址 |
美国 |
