基板处理装置及基板搬送方法

摘要

本发明提供一种基板处理装置及基板搬送方法，消除基板夹具搬送时的等待时间，使基板处理的产出量提升。关于本发明的基板处理装置，具有：搬送机，具备：把持部，保持基板夹具；以及搬送部，搬送把持于把持部的基板夹具；以及处理槽，用来在基板的面内方向向着铅直方向的状态下收纳保持基板的基板夹具，处理基板。把持部被构成为在基板的面内方向向着水平方向的状态下，把持前述基板夹具。搬送部被构成为在前述基板的面内方向向着水平方向的状态下，搬送前述基板夹具至前述处理槽的上方。