净化用装置及净化用方法

摘要

本发明的净化用装置(30)，系将储放有被储放物的储放容器(50)的内部以净化用气体进行净化处理的净化用装置，具备：排出管(33)，藉连接于储放容器的排出口排出储放容器内部的净化用气体；测量部(39)，测量实施净化处理时流出排出管的净化用气体之流量的排气流量；及判定部(43)，根据测量部所测量的排气流量判定净化处理的良否。