发明名称 |
涂布装置及涂布膜之制造方法;COATING APPARATUS, AND METHOD FOR PRODUCING COATING FILM |
摘要 |
本发明提供一种涂布装置,其具有:涂布部,将涂布液涂布于被涂布物;收容部,收容对前述涂布部所供给之涂布液;及配管,用以在前述收容部从上方来供给前述涂布液;又,排出前述配管之前述涂布液之侧的端部具有:排出前述涂布液之开口部、与已屈曲成使该开口部朝向上方的屈曲部。 |
申请公布号 |
TW201536428 |
申请公布日期 |
2015.10.01 |
申请号 |
TW103134388 |
申请日期 |
2014.10.02 |
申请人 |
日东电工股份有限公司 NITTO DENKO CORPORATION |
发明人 |
小松原诚 KOMATSUBARA, MAKOTO;三宅雅士 MIYAKE, MASASHI;矢木实 YAGI, MINORU |
分类号 |
B05C11/10(2006.01);B05D3/00(2006.01) |
主分类号 |
B05C11/10(2006.01) |
代理机构 |
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代理人 |
恽轶群陈文郎 |
主权项 |
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地址 |
日本 JP |