发明名称 涂布装置及涂布膜之制造方法;COATING APPARATUS, AND METHOD FOR PRODUCING COATING FILM
摘要 本发明提供一种涂布装置,其具有:涂布部,将涂布液涂布于被涂布物;收容部,收容对前述涂布部所供给之涂布液;及配管,用以在前述收容部从上方来供给前述涂布液;又,排出前述配管之前述涂布液之侧的端部具有:排出前述涂布液之开口部、与已屈曲成使该开口部朝向上方的屈曲部。
申请公布号 TW201536428 申请公布日期 2015.10.01
申请号 TW103134388 申请日期 2014.10.02
申请人 日东电工股份有限公司 NITTO DENKO CORPORATION 发明人 小松原诚 KOMATSUBARA, MAKOTO;三宅雅士 MIYAKE, MASASHI;矢木实 YAGI, MINORU
分类号 B05C11/10(2006.01);B05D3/00(2006.01) 主分类号 B05C11/10(2006.01)
代理机构 代理人 恽轶群陈文郎
主权项
地址 日本 JP