制备三氯矽烷的方法;Process for preparing trichlorosilane

摘要

本发明系关于一种藉由使一包含四氯化矽（STC）和氢气的反应物气体在大于或等于900°C的温度下转化形成一包含三氯矽烷（TCS）的产物气体来制备TCS的方法，其中在转化期间在所述反应物气体中存在至少一种碳化合物，其中基于氢气的标准体积流速，所述碳化合物的体积比例为10体积ppm至10体积%，其中与包含STC和氢气的反应物气体、且没有向所述反应物气体添加碳化合物的转化相比，在所述产物气体中的矽烷组分在冷凝后，存在于所产生的产物混合物中的额外的有机氯矽烷系不超过200 ppmw。