工件的切断方法

摘要

本发明是一种工件的切断方法，其利用螺旋状地卷绕在复数个线材导件之间且在轴方向行进的钢线来形成钢线列，并将工件压抵至钢线列来实行的工件的切断，其中，将使用于前次的工件的切断后的钢线再次使用来切断下一次的工件，而且，该工件的切断方法，相对于在前次的工件的切断中的钢线张力，将切断下一次的工件时的钢线张力设为87~95%的范围的值；并且，相对于切断前次的工件时的新线供给量，将切断下次的工件时的新线供给量设为125%以上的范围的值，而再次使用钢线来切断下一次的工件。;藉此，提供一种工件的切断方法，其将已使用于前次的工件的切断中的使用过的钢线，以与前次的切断工件的条件不同的条件再次切断工件，而能够一边增加利用同一条钢线能够切断的工件的个数，一边减少钢线发生断裂的情况，且抑制晶圆的翘曲的恶化。