用于传输电子装置制造中之基板之机器人设备、驱动组件，及方法;ROBOT APPARATUS, DRIVE ASSEMBLIES, AND METHODS FOR TRANSPORTING SUBSTRATES IN ELECTRONIC DEVICE MANUFACTURING

摘要

一种传送基板的机器人设备被揭示。该机器人设备可包含上臂、前臂、腕部构件，及端效器，该前臂可相对于该上臂独立旋转，该腕部构件可相对于该前臂独立旋转，该端效器经适配以承载基板。某些态样中，该独立旋转由机器人驱动组件提供，该机器人驱动组件具有第二驱动滑轮，该第二驱动滑轮经安装以在第一驱动滑轮上旋转。另一个态样中揭示了机器人驱动组件，该等机器人驱动组件包含安装于基座及安装于腹板上的滑轮。机器人驱动组件及运作的方法被提供，如同数个其他态样。