发明名称 表面处理湿制程中硝酸的循环利用系统
摘要
申请公布号 TWI501919 申请公布日期 2015.10.01
申请号 TW101120016 申请日期 2012.06.04
申请人 凯基有限公司 发明人 傅新民;发明人放弃姓名表示权;发明人放弃姓名表示权;发明人放弃姓名表示权;发明人放弃姓名表示权;发明人放弃姓名表示权
分类号 C01B21/46 主分类号 C01B21/46
代理机构 代理人 洪尧顺 台北市内湖区行爱路176号3楼
主权项 一种表面处理湿制程中硝酸的循环利用系统,系用以分离表面处理湿制程中待处理液所包含的水、硝酸、硫酸以及金属杂质,并循环利用该硝酸,该表面处理湿制程中硝酸的循环利用系统包括:一收集储存槽,收集该待处理液,并形成待处理储存液;一奈米级过滤器,透过一第一管路与该收集储存槽相接,该奈米级过滤器系经一设置于该第一管路上的帮浦而接收该收集储存槽的待处理储存液,且该奈米级过滤器具有至少一奈米级过滤膜,用以过滤该待处理储存液,形成不含硝酸盐的过滤液以及含有硝酸盐的浓缩液,且该过滤液藉由一连接于该收集储存槽与该奈米级过滤器之间的第二管路被回送至该收集储存槽;一蒸馏器,透过一第三管路与该奈米级过滤器相接,该蒸馏器藉由该第三管路接收该浓缩液,经加热至一特定温度后,使该浓缩液中的硝酸及部分的水蒸发而形成硝酸混合蒸气,并留下由较高沸点之硫酸及金属杂质所组成的高沸点溶液,其中该蒸馏器的特定温度为115℃至125℃之间;一冷凝器,透过一第四管路与该蒸馏器相接,该冷凝器藉由该第四管路接收该硝酸混合蒸气,并使该硝酸混合蒸气冷却而凝结成硝酸溶液,同时该硝酸溶液藉由一连接于该冷凝器与该收集储存槽之间的第五管路被回送至该收集储存槽;以及一电沉积器,透过一第六管路与该蒸馏器相接,该电沉积器藉由该第六管路接收该蒸馏器所产生的高沸点溶液,经电力使该高沸点溶液中的金属杂质还原成金属态而析出,同时残留的硫酸溶液藉由一连接于该蒸馏器与该电沉积器之间的第七管路被回送至该蒸馏器;其中,该表面处理湿制程中硝酸的循环利用系统利用该收集储存槽、该奈米级过滤器、该蒸馏器、该冷凝器以及该电沉积器形成一封 闭循环路径。
地址 塞席尔