用于基板处理喷洒头之可重置多区气体输送设备

主权项

一种可重置(reconfigurable)的喷洒头，包括：一主体，具有设置在其中的一或多个充气部(plenum)；以及一或多个插入件(insert)，系配置而设置在该一或多个充气部内，其中该一或多个插入件将该可重置的喷洒头区分为复数个区。