发明名称 Verfahren und Vorrichtung zum Herstellen einer elektrischen Schaltung zwischen zwei benachbarten Teilbereichen einer Solarzelle
摘要 Die Erfindung betrifft ein Verfahren (200) zum Herstellen einer elektrischen Schaltung zwischen zwei benachbarten Teilbereichen (106, 108) einer Solarzelle (100). Das Verfahren (200) weist einen Schritt (202) des Bereitstellens, einen Schritt (204) des Entfernens und einen Schritt (206) des Freilegens auf. Im Schritt (202) des Bereitstellens wird eine Grundstruktur (102) der Solarzelle (100) bereitgestellt. Die Grundstruktur (102) wird als zumindest dreischichtiger Schichtstapel (110) auf einem Trägermaterial (112) bereitgestellt. Eine erste elektrisch leitfähige Schicht (114) des Schichtstapels (110) ist zwischen dem Trägermaterial (112) und einer zweiten Schicht (116) des Schichtstapels (110) angeordnet. Die zweite Schicht (116) ist zwischen der ersten Schicht (114) und einer dritten elektrisch leitfähigen Schicht (118) des Schichtstapels (110) angeordnet. Die erste Schicht (114) und die zweite Schicht (116) sind zum Vorbereiten der Schaltung strukturiert. Die dritte Schicht (118) ist durchgehend. Im Schritt (204) des Entfernens wird ein Streifen (120) der dritten Schicht (118), entfernt, in dem die zweite Schicht (116) freigelegt wird. Im Schritt (206) des Freilegens wird die erste Schicht (114) innerhalb des Streifens (120) freigelegt. Dabei wird ein Graben (122) in die zweite Schicht (116) eingebracht, der schmaler als der Streifen (120) ist, um einen ersten Teilbereich (106) auf einer ersten Seite des Grabens (122) von einem zweiten Teilbereich (108) auf einer, der ersten Seite gegenüberliegenden zweiten Seite des Grabens (122) voneinander zu trennen, die dritte Schicht (118) in dem ersten Teilbereich (106) von der dritten Schicht (118) in dem zweiten Teilbereich (108) elektrisch zu isolieren und die elektrische Schaltung herzustellen.
申请公布号 DE102014204681(A1) 申请公布日期 2015.10.01
申请号 DE201410204681 申请日期 2014.03.13
申请人 ROBERT BOSCH GMBH 发明人 GAUCH, ROLAND;BARTL, DOMINIK
分类号 H01L31/0463;H01L31/0749;H01L31/18 主分类号 H01L31/0463
代理机构 代理人
主权项
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