摘要 |
<p>고체 촬상 소자는, 반도체 기판에 형성된 수광 화소부; 상기 반도체 기판에 형성된 흑레벨 기준 화소부; 및 상기 반도체 기판 상에 설치된 다층 배선부를 포함한다. 상기 다층 배선부는, 상기 반도체 기판 상에 형성된 절연층과, 상기 절연층 중에 복수의 층으로 형성된 금속 배선층으로 이루어진다. 상기 다층 배선부는, 상기 흑레벨 기준 화소부 상의 상기 금속 배선층 중 하나로서 제1 금속 배선층의 제1 금속 배선간 영역에 형성된 제1 차광막과, 상기 제1 차광막에 접속하고 있고 상기 제1 금속 배선층 상에 제2 금속 배선층으로 형성된 제2 차광막을 가진다.</p> |