发明名称 发光元件;Light-emitting Device
摘要 本发明提供一发光元件之制作方法,包含:提供一基板;形成一第一布拉格反射结构于基板之上;形成一第二布拉格反射结构于第一布拉格反射结构之上;形成一发光结构于第二布拉格反射结构之上;形成一窗户层于发光结构之上;形成一电流散布层于窗户层之上;提供一湿氧制程系统;分别形成一氧化区域于第一布拉格反射结构与第二布拉格反射结构,其中氧化区域系于湿氧制程系统中反应而成;及形成一电极于电流散布层之上。
申请公布号 TW201537776 申请公布日期 2015.10.01
申请号 TW104120387 申请日期 2011.05.31
申请人 晶元光电股份有限公司 EPISTAR CORPORATION 发明人 马少崑 MA,SHAO-KUN;郭宗泰 KUO,TSUNG-TAI;赖韩棕 LAI,HAN-TSUNG;李宜青 LEE,YI-CHING;金明达 CHIN,MING-TA
分类号 H01L33/10(2010.01) 主分类号 H01L33/10(2010.01)
代理机构 代理人
主权项
地址 新竹市东区新竹科学工业园区力行五路5号 TW