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发明名称
固体摄像装置及其制造方法
摘要
根据本发明之实施形态,提供一种包含半导体层、第1层、第2层、及第3层之固体摄像装置。上述半导体层进行光电转换。上述第1层具有第1折射率。上述第2层设置于上述第1层与上述半导体层之间,包含金属氧化物,且具有小于等于上述第1折射率之第2折射率。上述第3层设置于上述第1层与第2层之间,含有与氧共价键结之元素,且具有小于等于上述第1折射率之第3折射率。
申请公布号
TW201537740
申请公布日期
2015.10.01
申请号
TW104104796
申请日期
2015.02.12
申请人
东芝股份有限公司 KABUSHIKI KAISHA TOSHIBA
发明人
碇山理究 IKARIYAMA, RIKYU;福水裕之 FUKUMIZU, HIROYUKI;山田周辉 YAMADA, NORITERU;津田尚广 TSUDA, NAOHIRO;笕和宪 KAKEHI, KAZUNORI
分类号
H01L27/146(2006.01)
主分类号
H01L27/146(2006.01)
代理机构
代理人
陈长文
主权项
地址
日本 JP
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