发明名称 固体摄像装置及其制造方法
摘要 根据本发明之实施形态,提供一种包含半导体层、第1层、第2层、及第3层之固体摄像装置。上述半导体层进行光电转换。上述第1层具有第1折射率。上述第2层设置于上述第1层与上述半导体层之间,包含金属氧化物,且具有小于等于上述第1折射率之第2折射率。上述第3层设置于上述第1层与第2层之间,含有与氧共价键结之元素,且具有小于等于上述第1折射率之第3折射率。
申请公布号 TW201537740 申请公布日期 2015.10.01
申请号 TW104104796 申请日期 2015.02.12
申请人 东芝股份有限公司 KABUSHIKI KAISHA TOSHIBA 发明人 碇山理究 IKARIYAMA, RIKYU;福水裕之 FUKUMIZU, HIROYUKI;山田周辉 YAMADA, NORITERU;津田尚广 TSUDA, NAOHIRO;笕和宪 KAKEHI, KAZUNORI
分类号 H01L27/146(2006.01) 主分类号 H01L27/146(2006.01)
代理机构 代理人 陈长文
主权项
地址 日本 JP