钴金属障壁层

主权项

一种电子装置，包括：基板，在该基板之表面上具有介电材料层，该介电材料具有一形成在其中之凹部，其中该凹部具有至少一侧面，且该凹部之该侧面系与金属层接触，其中该金属层之金属系选自包含钌、铂、铱、钯、铼、及铑的群组，其中该金属层额外地包括钴，其中该凹部系以铜充填，其中该金属层系在该铜及该介电材料之间，且其中该电子装置被退火，以促进该钴的流动性和/或反应性。