| 主权项 |
一种用于从一基板之一表面移除一材料之装置，该装置包括：一置物台(stage)，其经组态以接收及固持该基板；及一照射器件，其用于以雷射光照射该表面；一投影透镜，其位于该照射器件上；及一碎片(debris)移除系统，其位于该投影透镜及该基板的该表面上，与该照射器件相连地(conjointly)移动，并可操作以收集藉由该雷射光自该基板移除(removed)的该材料，其中该投影透镜可操作以聚光(condense)及聚焦(focus)该雷射光，使通过该碎片移除系统的一开口，并聚光及聚焦于该基板的该表面上。
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