含羟基自由基水供给装置以及含羟基自由基水供给方法;APPARATUS FOR SUPPLYING HYDROXYL RADICAL-CONTAINING WATER AND METHOD FOR SUPPLYING HYDROXYL RADICAL-CONTAINING WATER

摘要

提供一种可改变用以供给自由基水(radical water)之配管的长度而能将更高浓度的羟基自由基(hydroxyl radical)供给至使用点(use point)之含羟基自由基水供给装置以及含羟基自由基水供给方法。;含羟基自由基水供给装置系具备有：含臭氧水的供给路径3，系供给使臭氧以及用以抑制臭氧的分解之添加物质溶解于纯水而得的含臭氧水；生成手段4，系设置于该供给路径3，并对前述含臭氧水添加臭氧分解触媒液以生成含羟基自由基水；含羟基自由基水的供给路径5，系将所生成的含羟基自由基水移送并供给达至使用点；以及配管长度可变手段6，系可实质性地改变前述含羟基自由基水的供给路径5的配管长度。