球状氮化硼微粒子及其制造方法

摘要

本发明提供一种适合于高导热填料等之球形度较高之球状氮化硼微粒子及其制造方法。;本发明之构成要件为：一种球状氮化硼微粒子，其平均粒径为0.01~1.0μm、配向性指数为1~15、氮化硼纯度为98.0质量%以上、及平均圆形度为0.80以上；一种球状氮化硼微粒子之制造方法，其系使氨/硼酸烷氧化物之莫耳比为1~10之硼酸烷氧化物与氨于惰性气体气流中于750℃以上反应30秒以内之后，于氨气、或氨气与惰性气体之混合气体之环境下，于1,000~1,600℃下热处理1小时以上之后，进而于惰性气体环境下，于1,800~2,200℃下煅烧0.5小时以上。