| 主权项 |
一种在电浆处理室中自静电夹盘解除基板夹持的方法，包含下列步骤：将处理气体供应到该电浆处理室内；对该处理气体供给能量而形成电浆态；将该电浆处理室维持于一真空压力以及低RF功率下，而在该基板上方2mm以上厚度之处产生电浆鞘层；将该基板抬升至该静电夹盘的支撑表面上方而到达该电浆鞘层内不致引发电浆不安定性之一中间升降位置，并且将该基板维持在该中间升降位置；熄灭该电浆；及将该基板从该中间升降位置抬升至一上部位置，于该上部位置处，该基板能够从该电浆处理室移除；其中该抬升至该中间升降位置以及该从该中间升降位置抬升的两步骤包含以一气动式致动器进行抬升，而其中通过一梭阀的气体流提供一低抬升力。
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