基板支持组件之热安定性的决定方法;METHOD OF DETERMINING THERMAL STABILITY OF A SUBSTRATE SUPPORT ASSEMBLY

摘要

一种热安定性决定方法，决定在电浆处理装置中基板支持组件上表面的热安定性，其中该基板支持组件包含一热控制元件阵列，其中该热控制元件阵列的一个以上热控制元件形成该基板支持组件的独立可控制加热器区域，且其中该热控制元件阵列系可操作用以控制该基板支持组件上表面的空间及时间温度，该方法包含：在执行电浆处理制程之前，记录该基板支持组件的时间解析制程前温度资料，且同时对该热控制元件阵列供电，以达成该基板支持组件上表面的一所欲空间及时间温度。在该电浆处理装置中处理一基板或一批基板，且同时对该热控制元件阵列供电，以达成该基板支持组件上表面的一所欲空间及时间温度；且在处理该基板或该批基板之后，记录该基板支持组件的时间解析制程后温度资料，其中该制程后温度资料系加以记录，且同时对该热控制元件阵列供电以达成该基板支持组件上表面的所欲空间及时间温度。该制程后温度资料系与该制程前温度资料比较，且决定该制程后温度资料是否在该制程前温度资料的一所欲容限范围之内。