在玻璃中快速雷射钻孔孔洞的方法及由该方法所制得的产品;METHOD FOR RAPID LASER DRILLING OF HOLES IN GLASS AND PRODUCTS MADE THEREFROM

摘要

在一材料中形成孔洞包括以下步骤：将一脉冲雷射束聚焦成沿射束传播方向定向且导向至该材料中之一雷射束焦线，该雷射束焦线于该材料内产生一诱导吸收，该诱导吸收于该材料内产生沿该雷射束焦线之一缺陷线；以及将该材料及该雷射束相对于彼此平移，进而在该材料中形成复数个缺陷线；以及于一酸溶液中蚀刻该材料，以便藉由扩大该材料中之该等缺陷线而产生直径大于1微米之孔洞。一种玻璃物件包括：一玻璃基板堆叠，其具有延伸穿过该堆叠之直径为1-100微米之成型孔洞。