用于制造电子或非电子组件之方法、其装置及用于制造电子或非电子组件之基板

主权项

一种使用一机器在一基板上之至少一个电子或非电子组件区域中制造至少一个组件之方法，该机器具有可相对于该基板而相对移动之一基板处理部件，该方法包括：至少当该基板处理部件与该基板系处于可允许该基板处理部件处理该基板上之该至少一个组件区域之一位置关系时，藉由读取由该基板提供之至少一第一计量刻度而测量该基板处理部件相对于该基板之位置。