| 发明名称 |
热扩散室 |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
TWI502760 |
申请公布日期 |
2015.10.01 |
| 申请号 |
TW100103878 |
申请日期 |
2011.02.01 |
| 申请人 |
浦耳温土拉公司 |
发明人 |
艾立克生 马克Ｒ;丁古斯 阿伦Ｌ;卡士达三世 亚瑟Ｗ;浦耳 亨利Ｊ;哲契迪 纳德 |
| 分类号 |
H01L31/18;G05D23/30 |
主分类号 |
H01L31/18 |
| 代理机构 |
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代理人 |
何金涂 台北市大安区敦化南路2段77号8楼;王彦评 台北市大安区敦化南路2段77号8楼 |
| 主权项 |
一种热扩散室，包括：支架，其支撑围阻室；处理室，其受约束在该围阻室中；热源模组，其配置在该围阻室与该处理室之间；热调节空腔，其形成在该热源模组与该处理室之间；以及至少一个流体入口箱，其与该热调节空腔流动连通，其中该流体入口箱提供平板阀，该平板阀减缓自该热调节空腔流经该流体入口箱且至该热调节空腔外部环境之流体的流量，且其中该流体入口箱更包含与该平板阀互动，以控制自该热调节空腔之外部环境通过该平板阀且流入该热调节空腔之流体流量的流量调整结构。 |
| 地址 |
美国 |
